ASM Laser Cutting Machine LS100-2 er en laserskæremaskine specielt designet til højpræcisionsskærebehov, specielt velegnet til fremstilling af Mini/Micro LED-chips. Enheden har følgende hovedfunktioner og fordele:
Højpræcisionsskæring: Skæredybdenøjagtigheden af LS100-2 er σ≤1um, XY skærepositionsnøjagtigheden er σ≤0,7um, og skærebanens bredde er ≤14um. Disse parametre sikrer den høje nøjagtighed af spånskæring.
Effektiv produktion: Dette udstyr kan skære cirka 10 millioner chips i timen, hvilket forbedrer produktionseffektiviteten markant.
Patenteret teknologi: LS100-2 anvender en række patenterede teknologier for yderligere at forbedre stabiliteten og pålideligheden af skæring.
Anvendelsesområde: Velegnet til 4" og 6" wafers, wafertykkelsen ændrer sig mindre end 15um, arbejdsbordstørrelsen er 168mm, 260mm og 290°, hvilket kan opfylde skærebehovene for forskellige størrelser og tykkelser.
Derudover er LS100-2 laserskæremaskinen af stor betydning i fremstilling af Mini/Micro LED-chips. Da Mini/Micro LED-chips kræver ekstrem høj skærenøjagtighed, er det svært for almindeligt udstyr at sikre udbytte og output på samme tid. LS100-2 løser dette problem gennem sin høje præcision og høje effektivitet, der imødekommer industriens krav om både udbytte og output