Высокадакладны рамонт ультрафіялетавым лазерам DISCO

DISCO (Японія DISCO) Серыя ORIGAMI XP - гэта высокадакладная сістэма УФ-лазернай рэзкі, распрацаваная спецыяльна для апрацоўкі далікатных матэрыялаў, такіх як упакоўка паўправаднікоў, гнуткія платы FPC, святлодыёдныя пласціны і г. д. Яе асноўныя перавагі ўключаюць:

Даўжыня хвалі: 355 нм (ультрафіялетавае), халодная апрацоўка

Дакладнасць пазіцыянавання: ±1 мкм (з візуальным пазіцыянаваннем ПЗС)

Хуткасць рэзкі: да 500 мм / с (у залежнасці ад таўшчыні матэрыялу)

Інтэлектуальнае выдаленне пылу: убудаваная сістэма выдзімання N2 і электрастатычнай адсорбцыі

II. Агульная дыягностыка няспраўнасцей і іх рашэнні

1. Зніжэнне магутнасці лазера/нестабільнасць

Магчымыя прычыны:

Старэнне ультрафіялетавага лазернага крышталя (Nd:YVO₄) (працягласць жыцця каля 8000-10000 гадзін)

Забруджванне паверхні крышталя падваення частоты (LBO)

Зрушэнне аптычнага выраўноўвання (выкліканае вібрацыяй)

Этапы тэхнічнага абслугоўвання:

Спектральнае выяўленне:

Выкарыстоўвайце вымяральнік магутнасці для вымярэння выхаду 355 нм, аслабленне>15% патрабуе каліброўкі аптычнага шляху

Абслугоўванне крышталяў:

Ачысціце крышталь LBO бязводным этанолам + ватовы тампон без пылу (не дакранайцеся да паверхні пакрыцця)

Каліброўка аптычнага шляху:

Выкарыстоўвайце спецыяльнае прыстасаванне DISCO для рэгулявання вугла адбівальніка (патрабуецца пароль аўтарызацыі)

2. Дрэйф пазіцыі рэзкі (ненармальная дакладнасць)

Асноўныя пункты пропуску:

Фокус камеры CCD:

Ачысціце аб'ектыў і паўторна выканайце каліброўку «Аўтафокус».

Накіроўвалая платформы руху:

Праверце зваротную сувязь кадавальніка лінейнага рухавіка (звычайны сігнал сігналізацыі ERR 205)

Фіксаваная вакуумная адсорбцыя матэрыялу:

Ступень вакууму павінна быць >80 кПа (чыстая порыстая керамічная прысоска)

Спосаб хуткай праверкі:

Выражыце стандартны ўзор сеткі і параўнайце адхіленне паміж чарцяжом праекта і фактычным шляхам

3. Апрацоўка кода сігналізацыі сістэмы

Код трывогі Значэнне Апрацоўка экстранай сітуацыі

ALM 102 Тэмпература галоўкі лазера занадта высокая. Праверце расход ахаладжальніка вады (павінен быць >2 л/мін)

ALM 303 Спрацавала ахоўная блакіроўка. Пацвердзіце стан датчыка ахоўных дзвярэй

ALM 408 Ціск у сістэме выдалення пылу недастатковы. Замяніце фільтр HEPA (кожныя 500 гадзін)

III. План прафілактычнага абслугоўвання

1. Штодзённае абслугоўванне

Ачысціце рэшткі смецця ў зоне апрацоўкі (каб прадухіліць электрастатычную адсорбцыю ад забруджвання аптычнага акна)

Запіс даных магутнасці лазера (ваганні павінны быць <±3%)

2. Штомесячнае абслугоўванне

Заменіце астуджальную ваду (праводнасць <5 мкСм/см)

Вышмаруйце рэйкі восі X/Y (выкарыстоўвайце спецыфікаваную змазку DISCO)

3. Штогадовае паглыбленае абслугоўванне

Поўная праверка аптычнага шляху УФ-лазера (патрабуецца арыгінальнае абсталяванне для каліброўкі)

Замена масла вакуумнага помпы і праверка ўшчыльнення

IV. Стратэгія аптымізацыі выдаткаў на тэхнічнае абслугоўванне

1. План зніжэння кошту лазернага модуля

Кампанент Першапачатковы кошт замены Альтэрнатыўны план Каэфіцыент эканоміі

Крышталь Nd:YVO₄ ¥180 000 Рэгенераваны крышталь іншых вытворцаў 80 000 ¥ 55%

Група факусуючых лінзаў ¥65 000 Лінза з айчыннага плаўленага кварца ¥15 000 77%

Карта кіравання рухам ¥120 000 Абслугоўванне ўзроўню мікрасхемы ¥25 000 79%

2. Ключавыя навыкі

Падаўжэнне тэрміну службы лазерных крышталяў:

Зніжэнне працоўнай тэмпературы з 25 ℃ да 20 ℃ можа павялічыць тэрмін службы на 40%

Сертыфікат айчынных расходных матэрыялаў:

Фільтры HEPA, вакуумныя патроны і г. д. прайшлі тэст на сумяшчальнасць DISCO

V. Паспяховыя справы

Завод па ўпакоўцы паўправаднікоў (5 ORIGAMI XP)

праблема:

Штогадовыя выдаткі на тэхнічнае абслугоўванне перавышаюць 1 200 000 іен, у асноўным з-за частай замены УФ-крышталяў

Наша рашэнне:

Усталюйце модуль кіравання тэмпературай крышталя з замкнёным контурам

Выкарыстоўвайце рамонт лазернай паліроўкі замест замены крышталя

Вынікі:

Цыкл замены крышталя падоўжаны з 8 месяцаў да 3 гадоў

Гадавы комплексны кошт зніжаны да ¥400 000

VI. Тэхнічная падтрымка

Інвентар запасных частак: УФ-аптычныя модулі, платы кіравання рухам і інш.

Дыстанцыйная дыягностыка: аналізуйце журналы абсталявання праз платформу DISCO Connect

Атрымайце індывідуальныя рашэнні па тэхнічным абслугоўванні

Бясплатна звяжыцеся з нашымі спецыялістамі па тэхнічным абслугоўванні лазераў:

"Кароткае кіраўніцтва па кодах сігналізацыі ORIGAMI XP"

Справаздача аб ацэнцы стану вашага абсталявання

Практыкуйце лакалізаваныя паслугі ў адпаведнасці з японскімі стандартамі працэсу, каб забяспечыць эфектыўную і стабільную працу абсталявання для дакладнай рэзкі

—— Пастаўшчык паслуг па тэхнічным абслугоўванні лазернага абсталявання DISCO ў Азіяцка-Ціхаакіянскім рэгіёне