УФ-лазерны дыск aeroPULSE FS50

DISCO Corporation з'яўляецца сусветным лідэрам у галіне дакладнай апрацоўкі. Яго aeroPULSE FS50 - гэта ультрафіялетавы (УФ) нанасекундны імпульсны лазер, прызначаны для высокадакладнай мікраапрацоўкі. Ён шырока выкарыстоўваецца ў дакладнай рэзцы, свідраванні і апрацоўцы паверхні ў паўправадніковай, электроннай, медыцынскай прамысловасці і іншых галінах.

1. Асноўныя функцыі і магчымасці

(1) Высокадакладная апрацоўка УФ-лазерам

Даўжыня хвалі: 355 нм (УФ), з вельмі маленькай зонай цеплавога ўздзеяння (HAZ), падыходзіць для апрацоўкі далікатных матэрыялаў.

Кароткі імпульс (нанасекундны ўзровень): памяншае цеплавое пашкоджанне матэрыялу і паляпшае якасць краю.

Высокая частата паўтарэння (да 500 кГц): улічвае як хуткасць, так і дакладнасць апрацоўкі.

(2) Інтэлектуальнае кіраванне прамянём

Якасць прамяня (M²≤1,3): невялікая сфакусаваная пляма (да ўзроўню 10 мкм), прыдатная для апрацоўкі на ўзроўні мікронаў.

Рэгуляваны рэжым плямы: падтрымлівае кропку Гаўса або кропку з плоскай вяршыняй для задавальнення патрэб розных матэрыялаў.

(3) Высокая стабільнасць і працяглы тэрмін службы

Канструкцыя цвёрдацельнага лазера, не патрабуе абслугоўвання, тэрмін службы> 20 000 гадзін.

Маніторынг магутнасці ў рэжыме рэальнага часу для забеспячэння ўзгодненасці апрацоўкі.

(4) Сумяшчальнасць аўтаматызацыі

Падтрымлівае пратаколы сувязі EtherCAT і RS232 і можа быць інтэграваны ў аўтаматызаваныя вытворчыя лініі або рабатызаваныя сістэмы рук.

2. Асноўныя характарыстыкі

Параметры aeroPULSE FS50 Спецыфікацыі

Лазерны тып УФ-нанасекунднага імпульснага лазера (DPSS)

Даўжыня хвалі 355 нм (УФ)

Сярэдняя магутнасць 10 Вт (магутнасць больш высокая)

Энергія аднаго імпульсу 20 мкДж ~ 1 мДж (рэгулюецца)

Шырыня імпульсу 10 нс ~ 50 нс (рэгулюецца)

Частата паўтарэння 1кГц~500кГц

Якасць прамяня (М²) ≤1,3

Дыяметр плямы 10 мкм ~ 100 мкм (рэгулюецца)

Спосаб астуджэння Паветранае астуджэнне/вадзяное астуджэнне (неабавязкова)

Інтэрфейс сувязі EtherCAT, RS232

3. Тыповыя вобласці прымянення

(1) Паўправадніковая прамысловасць

Рэзка пласцін (далікатных матэрыялаў, такіх як крэмній, карбід крэмнію, GaN і інш.).

Упакоўка мікрасхем (разводка RDL, свідраванне TSV).

(2) Электронная вытворчасць

Свідраванне мікраадтулін на друкаванай плаце (плата HDI, гнуткая схема).

Рэзка шкла/керамікі (вечка мабільнага тэлефона, модуль камеры).

(3) Медыцынскія прылады

Рэзка стэнтаў (сардэчна-сасудзістыя стэнты, прэцызійныя металічныя дэталі).

Біясенсарная апрацоўка (мікрафлюідныя чыпы).

(4) Напрамкі даследаванняў

Падрыхтоўка мікрананаструктур (фатонныя крышталі, MEMS-прылады).

4. Параўнанне тэхнічных пераваг

Асаблівасці aeroPULSE FS50 Звычайны УФ-лазер

Кіраванне імпульсам Нанасекундны ўзровень, рэгуляваная шырыня імпульсу Фіксаваная шырыня імпульсу

Зона цеплавога ўздзеяння Надзвычай малая (HAZ<5 мкм) Вялікая (HAZ>10 мкм)

Інтэграцыя аўтаматызацыі Падтрымка толькі EtherCAT Basic RS232

Дастасавальныя матэрыялы Далікатныя матэрыялы (шкло, кераміка) Агульныя металы/пластмасы

5. Прыкладныя галіны

Упакоўка і тэставанне паўправаднікоў

Бытавая электроніка (прылады 5G, дысплеі)

Медыцынскія прылады (імпланты, дыягнастычнае абсталяванне)

Прэцызійная оптыка (фільтры, дыфракцыйныя элементы)

6. Рэзюмэ

асноўнае значэнне aeroPULSE FS50 DISC:

Ультрафіялетавы нанасекундны лазер - ідэальны для прэцызійнай апрацоўкі далікатных матэрыялаў.

Высокая якасць прамяня (M²≤1,3) - дасягненне дакладнасці апрацоўкі на мікронным узроўні.

Сумяшчальнасць з інтэлектуальным кіраваннем і аўтаматызацыяй - адаптацыя да вытворчых ліній Industry 4.0.

Доўгі тэрмін службы і не патрабуе тэхнічнага абслугоўвання - знізіць комплексныя выдаткі на выкарыстанне.

Гэта абсталяванне асабліва падыходзіць для сцэнарыяў са строгімі патрабаваннямі да дакладнасці апрацоўкі і якасці краю