ACCRETECH Probe Station UF3000EX - гэта прылада выяўлення электрычнага сігналу для кожнага чыпа на кожнай пласціне, створаная для забеспячэння якасці паўправадніковых прадуктаў. Прылада выкарыстоўвае тэхналогію новага пакалення, якая значна паляпшае вытворчыя магутнасці за кошт новых алгарытмаў і тэхналогіі апрацоўкі пласцін. Яго высакахуткасныя і малашумныя платформы па восях X і Y карыстаюцца перавагамі новай сістэмы прывада, у той час як вось Z забяспечвае грузападымальнасць і высокую дакладнасць сусветнага класа. Канструктыўная структура прылады надзейна ліквідуе высілак на плоскасці за кошт добрага спалучэння аптымальнай канструктыўнай канструкцыі і тапалогіі. Акрамя таго, удасканаленая сістэма апрацоўкі пазіцыі OTS і сістэма выраўноўвання каляровай пласціны, а таксама абсталяваная функцыя малога максімальнага павелічэння робяць UF3000EX высокадакладнай і працаздольнай прыладай у прамысловасці.
Асноўныя асаблівасці
Высокая хуткасць і нізкі ўзровень шуму: новая сістэма прывада дазваляе платформам па восі X і Y працаваць эфектыўна і ціха.
Высокая дакладнасць: вось Z забяспечвае грузападымальнасць сусветнага класа і высокую дакладнасць.
Структурная аптымізацыя: сіла, якая дзейнічае на плоскасць, ліквідавана дзякуючы добраму спалучэнню аптымальнай канструкцыі і тапалогіі.
Удасканаленая сістэма пазіцыянавання: абсталявана ўдасканаленай сістэмай апрацоўкі пазіцыі OTS і сістэмай выраўноўвання каляровых пласцін з функцыяй павелічэння малога максімальнага павелічэння.
Сумяшчальнасць: Падыходзіць для пласцін вялікага дыяметра (φ300 мм, да 12 цаляў), з аўтаматычнай аперацыйнай сістэмай, высокадакладным выяўленнем, высокай прапускной здольнасцю, нізкай вібрацыяй і г.д.
Поле прымянення
Зондавая станцыя UF3000EX шырока выкарыстоўваецца пры тэсціраванні пласцін у працэсе вытворчасці паўправаднікоў, асабліва ў вытворчых лініях LSI і VLSI, якія могуць забяспечыць эфектыўнае і дакладнае выяўленне электрычнага сігналу для забеспячэння якасці прадукцыі і эфектыўнасці вытворчасці